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在半導體與微電子制造領域,光刻膠的質量直接決定了芯片的良率與性能。而光刻膠中一個常常被忽視卻又至關重要的指標,便是微量水分含量。
光刻膠主要由樹脂、感光劑、溶劑及各類助劑組成,其含水量通常要求低于0.05%。水分的存在會帶來一系列致命問題:在光刻過程中,水分可能引發光刻膠水解,導致顯影后圖形邊緣粗糙、線條坍塌;水分汽化產生的氣泡則會造成針孔缺陷;更嚴重的是,水分會影響光刻膠的感光速度和分辨率,直接降低芯片制造的成品率。

當光刻膠含水量處于較低水平時,傳統的干燥失重法已無法滿足精度要求。此時,卡爾費休庫侖法成為行業認可的方案。上海禾工科學儀器有限公司推出的AKF-C6全自動微量卡氏水分測定儀,正是為這一高精度檢測需求而生。
一、精度至上:ppm級水分的精準“捕手"
光刻膠的水分控制往往需要達到ppm(百萬分之一)級別。AKF-C6采用電解電流庫侖法原理,通過電解產生的碘與樣品中水分發生定量反應,根據消耗的電量精確計算水分含量。其測量分辨率高達0.01μg(水質量),水分測定范圍覆蓋1ppm至100%,測定重復性大于99.7%。
對于光刻膠這類微量水分要求極為嚴苛的樣品,AKF-C6能夠提供穩定、精準的檢測數據,為工藝控制提供可靠依據。
二、操作極簡:彩色觸屏,一鍵啟動
傳統水分測定儀操作復雜、對人員要求高,而AKF-C6打破了這一印象。儀器配備彩色觸摸屏與全數字鍵盤,界面極簡,一鍵啟動即可開始測量,無需專業人士操作。儀器內置多年積累的智能檢測技術,可實現自動終點判斷、自動檢測,并能根據環境濕度自動調節檢測精度。
三、一機多用:不止于水分測定
AKF-C6的價值遠不止于測水。儀器內置了氣體、液體、固體水含量測定方法以及溴指數測定方法,無需增加額外附件即可實現多種檢測功能,幫助企業節省采購成本。同時,儀器可選配卡式加熱爐、多樣品自動頂空加熱進樣器等專用輔助設備,可分析樹脂、膠黏劑、高分子材料等難溶性、不溶性復雜樣品——光刻膠恰恰屬于這一范疇。
四、合規無憂:全面滿足GMP/GLP規范
對于制藥及制造行業而言,數據合規是不可回避的剛需。AKF-C6針對2020新版《中國藥典》對卡爾費休水分測定儀的要求,在軟件層面開發了符合GMP認證需要的功能。儀器配備三級用戶管理權限和完整的審計追蹤功能,可完整記錄實驗日志并支持導出,確保原始數據可追溯、不可篡改。
五、國產儀器:媲美進口的可靠品質
光刻膠水分含量測定儀AKF-C6延續了禾工科儀產品一貫的可靠品質:配備硬件故障智能檢測與運行狀態實時監測功能,具有異常終止、定時停止等能力,故障率低、使用成本低、運行壽命長。作為一款可以媲美并替代進口的優秀國產產品,AKF-C6已在鋰電池電解液、醫藥、化工等多個高要求行業獲得驗證。
在光刻膠質量控制的精密天平上,每一微克水分的波動都可能影響最終產品的成敗。上海禾工科學儀器有限公司AKF-C6全自動微量卡氏水分測定儀,以高精度、極簡操作、一機多用、合規可靠的綜合優勢,為光刻膠及電子化學品行業提供了一份值得信賴的國產解決方案。
選擇光刻膠水分含量測定儀AKF-C6,就是選擇精準、穩定與全生命周期的價值陪伴。
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